高純(chun)鎢(wu)是制造集(ji)成電(dian)路(lu)的(de)基本材(cai)料，材(cai)料形狀可(ke)以是箔(bo)片、片材(cai)、靶材(cai)、燈絲、絕(jue)緣線、直棒、圓(yuan)管、粉末、單(dan)晶等(deng)。廣(guang)泛用(yong)作半導體(ti)大(da)型的(de)柵電(dian)路(lu)電(dian)極材(cai)料、布線材(cai)料和屏(ping)蔽(bi)金(jin)屬(shu)材(cai)料級(ji)集(ji)成電(dian)路(lu)。純(chun)度達到99.999%和99.9999%，分別(bie)記錄為5N和6N純(chun)鎢(wu)。各種雜質元(yuan)素(su)的(de)含量(liang)(liang)應在（0.1～1000）×10-12之間，某些雜質元(yuan)素(su)的(de)含量(liang)(liang)有特殊要求，如放射性、堿金(jin)屬(shu)、重金(jin)屬(shu)、氣體(ti)元(yuan)素(su)等(deng)。

    高純(chun)鎢及其(qi)硅(gui)化物在(zai)超(chao)大規模集成(cheng)電路中用(yong)(yong)(yong)作(zuo)電阻層、擴散阻擋(dang)層等(deng)，在(zai)金屬氧(yang)化物半導體(ti)晶體(ti)管中用(yong)(yong)(yong)作(zuo)柵(zha)極材料(liao)和(he)(he)(he)連接(jie)材料(liao)。微(wei)量(liang)元(yuan)(yuan)素(su)的(de)(de)(de)(de)測定是(shi)評價性能(neng)的(de)(de)(de)(de)重(zhong)(zhong)要(yao)(yao)標準。降低(di)微(wei)量(liang)元(yuan)(yuan)素(su)的(de)(de)(de)(de)測定限，增加微(wei)量(liang)元(yuan)(yuan)素(su)的(de)(de)(de)(de)數量(liang)，提高測定的(de)(de)(de)(de)準確度(du)和(he)(he)(he)靈(ling)敏度(du)是(shi)檢測過程的(de)(de)(de)(de)主要(yao)(yao)任(ren)務。研究方向(xiang)。檢測高純(chun)金屬中痕(hen)量(liang)元(yuan)(yuan)素(su)的(de)(de)(de)(de)常(chang)用(yong)(yong)(yong)方法包括光譜(pu)分(fen)(fen)析、質譜(pu)分(fen)(fen)析和(he)(he)(he)中子分(fen)(fen)析。隨著(zhu)材料(liao)純(chun)度(du)的(de)(de)(de)(de)提高，傳(chuan)統的(de)(de)(de)(de)光譜(pu)分(fen)(fen)析和(he)(he)(he)中子分(fen)(fen)析所測元(yuan)(yuan)素(su)的(de)(de)(de)(de)量(liang)和(he)(he)(he)分(fen)(fen)析靈(ling)敏度(du)已不能(neng)滿足(zu)6N鎢粉的(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)析要(yao)(yao)求，而質譜(pu)法在(zai)高濃(nong)度(du)鎢粉的(de)(de)(de)(de)痕(hen)量(liang)雜質檢測發揮著(zhu)越來越重(zhong)(zhong)要(yao)(yao)的(de)(de)(de)(de)作(zuo)用(yong)(yong)(yong)-純(chun)度(du)鎢。越來越重(zhong)(zhong)要(yao)(yao)的(de)(de)(de)(de)作(zuo)用(yong)(yong)(yong)。

    高純(chun)鎢(wu)的(de)制備(bei)過程繁瑣，各種提純(chun)方法去(qu)除(chu)不(bu)同(tong)雜(za)質的(de)效(xiao)果差異很大；國內(nei)高純(chun)鎢(wu)精(jing)煉工(gong)藝(yi)中，仍僅采用簡單的(de)真空脫氣去(qu)除(chu)間隙雜(za)質。純(chun)度受到某(mou)些限制。該熔(rong)煉法溫(wen)度高、無污(wu)染(ran)、提純(chun)效(xiao)果好(hao)，在提純(chun)難(nan)熔(rong)金屬方面有(you)很大優勢(shi)；但其原料純(chun)度要求高，成本高，工(gong)藝(yi)費時。因此如(ru)何將多種工(gong)藝(yi)有(you)機結合成功制備(bei)高純(chun)鎢(wu)成為(wei)研究(jiu)熱點和難(nan)點。

    高(gao)純鎢(wu)的制備方法(fa)可分為粉末冶金、熔(rong)煉和化(hua)學氣相沉積法(fa)。

    1、粉末(mo)冶金：鎢粉成型后(hou)，可得到鎢坯或某種簡(jian)單形式的鎢制品，加熱至其熔(rong)點下的某一溫度，通過物質遷移完(wan)成致密化過程。

    2、熔制：指原料加(jia)熱至熔點以上形成液(ye)相(xiang)，具體方法(fa)有真空自耗電弧熔煉法(fa)、電子(zi)束(shu)熔煉法(fa)、等(deng)離子(zi)體熔煉法(fa)等(deng)，除去雜質(zhi)后冷卻凝(ning)固(gu)致密化的(de)過程，根據所采用的(de)手段不(bu)同而(er)不(bu)同。

    3、化學氣相沉積(ji)：指以化合物氣(一般(ban)為(wei)WF6)為(wei)鎢源，得到致密的(de)坯(或產品(pin))的(de)過程，在一定溫度下被(bei)H2還原，將生成(cheng)的(de)沉積(ji)在特定的(de)基(ji)底(di)(di)上，沉積(ji)完(wan)成(cheng)后(hou)去除基(ji)底(di)(di)材料(liao)。